流体温度控制装置及光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110243411.3

申请日：

2021-03-05

公开(公告)号：

CN113359896A

公开(公告)日：

2021-09-07

发明(设计)人：

张利周二虎曹红波

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层

IPC主分类号：

G05D2320

IPC分类号：

F16L4103 F16L4116 F16K1102 F16K1122 F17D108 F17D301 F17D318 G03F720 H05K720 H02K9193

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726

代理人：

李梦宁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-07	公开	公开
2021-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 23/20 申请日:20210305
2021-11-30	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G05D 23/20 变更事项:申请人变更前:北京华卓精科科技股份有限公司变更后:北京华卓精科科技股份有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）

共 50 条

[1]

流体温度控制装置及光刻设备 [P].

张利 ;

周二虎 ;

曹红波 .

中国专利 :CN214474656U ,2021-10-22

[2]

油田流体温度控制装置 [P].

于洪涛 ;

田茂林 ;

刘玉春 ;

王家民 ;

邹彩兵 ;

王湘波 ;

于洪军 ;

李友铁 ;

卢剑 ;

赵献刚 ;

于德斌 ;

郑建涛 .

中国专利 :CN201429802Y ,2010-03-24

[3]

高粘度流体温度控制装置 [P].

万野 ;

李锦平 ;

禄占锋 ;

史佳兴 .

中国专利 :CN216011428U ,2022-03-11

[4]

流体压力波动抑制装置及光刻设备 [P].

张利 ;

周二虎 ;

曹红波 .

中国专利 :CN214252873U ,2021-09-21

[5]

全自动流体温度及流量控制装置及控制方法 [P].

吕实诚 .

中国专利 :CN105626949A ,2016-06-01

[6]

动态流体温度控制系统 [P].

王家凯 ;

叶振兴 ;

王成英 ;

张二涛 .

中国专利 :CN307812960S ,2023-01-24

[7]

非接触式的流体温度控制装置 [P].

吴军 ;

黄辉衡 ;

黄正春 .

中国专利 :CN206805320U ,2017-12-26

[8]

流体温度控制装置及带有该装置的水龙头 [P].

黄添财 .

中国专利 :CN1170106A ,1998-01-14

[9]

非线性晶体温度控制装置 [P].

巩马理 ;

黄磊 ;

柳强 ;

闫平 ;

张海涛 .

中国专利 :CN102891422A ,2013-01-23

[10]

气动控制装置及系统、光刻设备 [P].

徐腾肖 ;

黄风良 ;

李博书 ;

朱正平 .

中国专利 :CN114688296A ,2022-07-01

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