薄膜体声波谐振器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710083387.5

申请日：

2017-02-16

公开(公告)号：

CN107196618A

公开(公告)日：

2017-09-22

发明(设计)人：

张树民王国浩陈海龙

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道6号大街452号2幢B0711-0741号房

IPC主分类号：

H03H302

IPC分类号：

H03H902 H03H905 H03H917 H03H958

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

李明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H03H 3/02 申请日:20170216
2017-09-22	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜体声波谐振器及其加工方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

陈海龙 .

中国专利 :CN107093994B ,2017-08-25

[2]

薄膜体声波谐振器及滤波器 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

陈海龙 .

中国专利 :CN206673927U ,2017-11-24

[3]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

曲远航 ;

孙成亮 ;

孙博文 ;

蔡耀 ;

邹杨 ;

高超 ;

罗天成 ;

王雅馨 .

中国专利 :CN115412042A ,2022-11-29

[4]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

李国强 .

中国专利 :CN111628744A ,2020-09-04

[5]

薄膜体声波谐振器 [P].

杨帅 ;

张章 ;

吴珂 ;

张丽蓉 ;

庄智强 ;

王超 .

中国专利 :CN117997303A ,2024-05-07

[6]

一种薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

李国强 .

中国专利 :CN111697937A ,2020-09-22

[7]

带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN107231138A ,2017-10-03

[8]

基于SOI基片的薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN107222181A ,2017-09-29

[9]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

牛玉娇 ;

张树民 .

中国专利 :CN114696767A ,2022-07-01

[10]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

汪泉 .

中国专利 :CN110289824A ,2019-09-27

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