带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710342081.7

申请日：

2017-05-16

公开(公告)号：

CN107231138A

公开(公告)日：

2017-10-03

发明(设计)人：

张树民王国浩房华

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道6号大街452号2幢B0711-0741号房

IPC主分类号：

H03H902

IPC分类号：

H03H905 H03H910 H03H302

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

李明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-03	公开	公开
2017-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H03H 9/02 申请日:20170516

共 50 条

[1]

基于SOI基片的薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN107222181A ,2017-09-29

[2]

带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及通信器件 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN206542385U ,2017-10-03

[3]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

陈海龙 .

中国专利 :CN107196618A ,2017-09-22

[4]

基于绝缘体硅基片的薄膜体声波谐振器及通信器件 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN206542386U ,2017-10-03

[5]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

汪泉 .

中国专利 :CN110289824A ,2019-09-27

[6]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

曲远航 ;

孙成亮 ;

孙博文 ;

蔡耀 ;

邹杨 ;

高超 ;

罗天成 ;

王雅馨 .

中国专利 :CN115412042A ,2022-11-29

[7]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

李国强 .

中国专利 :CN111628744A ,2020-09-04

[8]

一种薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

高安明 ;

姜伟 .

中国专利 :CN114759897A ,2022-07-15

[9]

薄膜体声波谐振器及其加工方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

陈海龙 .

中国专利 :CN107093994B ,2017-08-25

[10]

基于固态和空腔结合的薄膜体声波谐振器 [P].

王国浩 ;

房华 ;

张树民 ;

陈海龙 ;

汪泉 .

中国专利 :CN207460113U ,2018-06-05

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