一种薄膜体声波谐振器及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202210374871.4

申请日：

2022-04-11

公开(公告)号：

CN114759897A

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

高安明姜伟

申请人：

申请人地址：

325000 浙江省温州市温州浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室

IPC主分类号：

H03H902

IPC分类号：

H03H302

代理机构：

温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙) 33262

代理人：

刘超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H03H 9/02 申请日:20220411
2022-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

陈海龙 .

中国专利 :CN107196618A ,2017-09-22

[2]

一种薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

孙成亮 ;

粘来霞 ;

蔡耀 ;

高超 ;

邹杨 ;

谢英 ;

刘炎 ;

周杰 ;

徐沁文 .

中国专利 :CN111010127B ,2020-04-14

[3]

带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN107231138A ,2017-10-03

[4]

基于SOI基片的薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN107222181A ,2017-09-29

[5]

一种薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

李国强 .

中国专利 :CN111697937A ,2020-09-22

[6]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

曲远航 ;

孙成亮 ;

孙博文 ;

蔡耀 ;

邹杨 ;

高超 ;

罗天成 ;

王雅馨 .

中国专利 :CN115412042A ,2022-11-29

[7]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

汪泉 .

中国专利 :CN110289824A ,2019-09-27

[8]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

孙成亮 ;

龙开祥 ;

国世上 ;

刘炎 ;

邹杨 ;

高超 ;

曲远航 ;

谷曦宇 .

中国专利 :CN112886935A ,2021-06-01

[9]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

周杰 ;

李习科 ;

关若飞 ;

蔡耀 ;

孙成亮 ;

王世杰 .

中国专利 :CN119298869A ,2025-01-10

[10]

薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

朱欣恩 .

中国专利 :CN103414446A ,2013-11-27

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