带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及通信器件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621463325.4

申请日：

2016-12-29

公开(公告)号：

CN206542385U

公开(公告)日：

2017-10-03

发明(设计)人：

张树民王国浩房华

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道6号大街452号2幢B0711-0741号房

IPC主分类号：

H03H902

IPC分类号：

H03H905 H03H954

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

李明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-03	授权	授权

共 50 条

[1]

基于绝缘体硅基片的薄膜体声波谐振器及通信器件 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN206542386U ,2017-10-03

[2]

带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN107231138A ,2017-10-03

[3]

基于SOI基片的薄膜体声波谐振器及其制备方法 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

房华 .

中国专利 :CN107222181A ,2017-09-29

[4]

一种空腔内设置缓冲支撑结构的薄膜体声波谐振器及通信器件 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN210273998U ,2020-04-07

[5]

硅基压电薄膜体声波谐振器 [P].

高安明 ;

姜伟 ;

刘伟 .

中国专利 :CN213879775U ,2021-08-03

[6]

薄膜体声波谐振器 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

汪泉 .

中国专利 :CN209930221U ,2020-01-10

[7]

基于固态和空腔结合的薄膜体声波谐振器 [P].

王国浩 ;

房华 ;

张树民 ;

陈海龙 ;

汪泉 .

中国专利 :CN207460113U ,2018-06-05

[8]

薄膜体声波谐振器及滤波器 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

陈海龙 .

中国专利 :CN206673927U ,2017-11-24

[9]

预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器 [P].

杨增涛 ;

马晋毅 ;

冷俊林 ;

赵建华 ;

杨正兵 ;

江洪敏 ;

傅金桥 ;

张龙 ;

周益民 .

中国专利 :CN202026284U ,2011-11-02

[10]

一种薄膜体声波谐振器及通信器件 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110061713A ,2019-07-26

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