硅基压电薄膜体声波谐振器

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022742166.4
申请日
2020-11-24
公开(公告)号
CN213879775U
公开(公告)日
2021-08-03
发明(设计)人
高安明 姜伟 刘伟
申请人
申请人地址
325024 浙江省温州市龙湾区永中街道温州浙南科技城创新创业新天地1号楼505(仅限办公使用)
IPC主分类号
H03H3007
IPC分类号
H03H302 H03H304 H03H902 H03H917 H03H919 H01L4108 H01L4122
代理机构
上海段和段律师事务所 31334
代理人
李佳俊;郭国中
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
基于硅上压电薄膜结构的体声波谐振器及制备方法 [P]. 
高安明 ;
姜伟 ;
刘伟 .
中国专利 :CN112350679B ,2025-09-09
[2]
基于硅上压电薄膜结构的体声波谐振器及制备方法 [P]. 
高安明 ;
姜伟 ;
刘伟 .
中国专利 :CN112350679A ,2021-02-09
[3]
薄膜体声波谐振器 [P]. 
张树民 ;
王国浩 ;
汪泉 .
中国专利 :CN209930221U ,2020-01-10
[4]
基于绝缘体硅基片的薄膜体声波谐振器及通信器件 [P]. 
张树民 ;
王国浩 ;
房华 .
中国专利 :CN206542386U ,2017-10-03
[5]
薄膜体声波谐振器 [P]. 
杨帅 ;
张章 ;
吴珂 ;
张丽蓉 ;
庄智强 ;
王超 .
中国专利 :CN117997303A ,2024-05-07
[6]
薄膜体声波谐振器 [P]. 
张孟伦 ;
庞慰 .
中国专利 :CN115001433A ,2022-09-02
[7]
带有支撑结构的薄膜体声波谐振器及通信器件 [P]. 
张树民 ;
王国浩 ;
房华 .
中国专利 :CN206542385U ,2017-10-03
[8]
一种压电薄膜体声波谐振器 [P]. 
汤亮 ;
乔东海 .
中国专利 :CN101951238A ,2011-01-19
[9]
薄膜体声波谐振器 [P]. 
窦韶旭 ;
吴珂 ;
韩琦 ;
王超 ;
庄玉召 ;
程诗阳 ;
张丽蓉 ;
杨帅 .
中国专利 :CN111404509A ,2020-07-10
[10]
薄膜体声波谐振器 [P]. 
欧文 .
中国专利 :CN211744436U ,2020-10-23