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一种表面粗糙度测量装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821922495.3
申请日：
2018-11-21
公开(公告)号：
CN208887611U
公开(公告)日：
2019-05-21
发明(设计)人：
徐燕华
沈思情
张俊宝
陈猛
申请人：
申请人地址：
201617 上海市松江区石湖荡镇闵塔路808号3号厂房
IPC主分类号：
G01B2130
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-10 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01B 21/30 变更事项:专利权人 变更前:上海超硅半导体有限公司 变更后:上海超硅半导体股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201617 上海市松江区石湖荡镇闵塔路808号3号厂房 变更后:201616 上海市松江区鼎松路150弄1-15号 |
| 2019-05-21 | 授权 | 授权 |