自行对准金属硅化物的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02118192.6

申请日：

2002-04-24

公开(公告)号：

CN1453837A

公开(公告)日：

2003-11-05

发明(设计)人：

廖文翔

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L21265 H01L21324 H01L2128 H01L213205

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

潘培坤;陈红

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-11-05	公开	公开
2005-04-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回
2002-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

形成自行对准金属硅化物的方法 [P].

高荣正 .

中国专利 :CN1484285A ,2004-03-24

[2]

自动对准金属硅化物制造方法 [P].

黄明政 ;

钟祥珉 .

中国专利 :CN1306595C ,2005-03-09

[3]

自对准金属硅化物的制造方法 [P].

李镇全 .

中国专利 :CN109103138A ,2018-12-28

[4]

自对准金属硅化物的制造方法 [P].

朱津泉 ;

周祖源 .

中国专利 :CN101211781A ,2008-07-02

[5]

金属硅化物制造方法 [P].

罗军 ;

邓坚 ;

赵超 ;

钟汇才 ;

李俊峰 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN103377894A ,2013-10-30

[6]

金属硅化物的制造方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121075913A ,2025-12-05

[7]

金属硅化物的制造方法 [P].

张国华 .

中国专利 :CN1299339C ,2004-06-23

[8]

金属硅化物的制造方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121075912A ,2025-12-05

[9]

金属硅化物的制造方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121075914A ,2025-12-05

[10]

金属硅化物的制造方法 [P].

谢朝景 ;

江怡颖 ;

黄建中 ;

曹博昭 ;

徐新惠 ;

林建廷 ;

戎乐天 .

中国专利 :CN1862779A ,2006-11-15

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