晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320095411.4

申请日：

2013-03-01

公开(公告)号：

CN203124337U

公开(公告)日：

2013-08-14

发明(设计)人：

杨勇杜亮常延武

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-14	授权	授权
2020-03-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/10 申请日:20130301 授权公告日:20130814 终止日期:20190301

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

杜亮 ;

李强 ;

钱文明 ;

陈俊祥 ;

常延武 .

中国专利 :CN201918369U ,2011-08-03

[2]

晶圆清洗装置 [P].

赵黎 ;

刘家桦 ;

卢思源 .

中国专利 :CN208127151U ,2018-11-20

[3]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

赵黎 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207752980U ,2018-08-21

[4]

晶圆背面清洗装置 [P].

孔德平 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN203721680U ,2014-07-16

[5]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[6]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

马玲 ;

韦亚一 ;

徐步青 ;

董立松 .

中国专利 :CN108649006B ,2018-10-12

[7]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

李广宁 ;

沈哲敏 .

中国专利 :CN104078352A ,2014-10-01

[8]

晶圆清洗装置 [P].

袁铮 ;

郭国超 ;

颜明辉 .

中国专利 :CN101599420A ,2009-12-09

[9]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[10]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

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