一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910112272.X

申请日：

2009-07-29

公开(公告)号：

CN101985735A

公开(公告)日：

2011-03-16

发明(设计)人：

曹永革邓种华郭旺黄常刚

申请人：

申请人地址：

350002 福建省福州市杨桥西路155号

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1435 C23C1434

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-16	公开	公开
2012-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101297309742 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:200910112272X 申请日:20090729
2014-03-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101696309220 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:200910112272X 申请公布日:20110316

共 50 条

[1]

用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材 [P].

赵大庆 ;

庄大明 ;

方玲 ;

梁展鸿 ;

俞锦方 ;

沈淦荣 ;

杨伟方 .

中国专利 :CN1289128A ,2001-03-28

[2]

利用氧化铝锌靶材制备多层薄膜的方法 [P].

杨能辉 ;

林俊荣 .

中国专利 :CN103021822A ,2013-04-03

[3]

一种铟掺杂氧化锌靶材及透明导电膜的制备方法 [P].

曹永革 ;

黄常刚 ;

邓种华 ;

王美丽 .

中国专利 :CN102191465A ,2011-09-21

[4]

一种氧化铝靶材的制备方法 [P].

刘文杰 ;

钟小华 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN112390628B ,2021-02-23

[5]

一种氧化铝靶材及其制备方法 [P].

刘文杰 ;

高日旭 ;

余芳 ;

邵学亮 ;

童培云 .

中国专利 :CN116253560B ,2024-06-07

[6]

透明导电薄膜制备所用的靶材及导电薄膜和电极制造方法 [P].

薛建设 ;

林承武 ;

梁珂 .

中国专利 :CN101285164A ,2008-10-15

[7]

一种氧化铝靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

施政 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118754616A ,2024-10-11

[8]

镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法 [P].

曹永革 ;

黄常刚 ;

王美丽 ;

邓种华 .

中国专利 :CN102191466A ,2011-09-21

[9]

靶材以及该靶材所制造的薄膜 [P].

李仲仁 ;

赵勤孝 ;

毛庆中 .

中国专利 :CN101245443B ,2008-08-20

[10]

一种氧化铝锌靶材及其制备方法、应用 [P].

顾德盛 ;

张兴宇 ;

罗斯诗 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118978387A ,2024-11-19

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