一种氧化铝锌靶材及其制备方法、应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410880987.4

申请日：

2024-07-02

公开(公告)号：

CN118978387A

公开(公告)日：

2024-11-19

发明(设计)人：

顾德盛张兴宇罗斯诗李开杰王奇峰

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C04B35/10

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/08 C23C14/24

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

龚元元

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/10申请日:20240702
2024-11-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铝锌靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

王奇峰 ;

陆洲 ;

吴鸿毅 ;

刘成龙 .

中国专利 :CN119162547A ,2024-12-20

[2]

一种氧化铝陶瓷靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

王科 ;

王巨宝 ;

周敏 .

中国专利 :CN117447194A ,2024-01-26

[3]

一种氧化铝靶材及其制备方法 [P].

周志宏 ;

杨永添 ;

刘青雄 .

中国专利 :CN119912244A ,2025-05-02

[4]

一种氧化铝靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

杨慧珍 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115353373A ,2022-11-18

[5]

一种氧化铝靶材及其制备方法和应用 [P].

张凤戈 ;

施政 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

张欠男 ;

岳万祥 ;

孟晓亭 .

中国专利 :CN118754616A ,2024-10-11

[6]

一种氧化铝靶材及其制备方法 [P].

刘文杰 ;

高日旭 ;

余芳 ;

邵学亮 ;

童培云 .

中国专利 :CN116253560B ,2024-06-07

[7]

一种氧化铝靶材及其制备方法 [P].

周志宏 ;

杨永添 ;

刘青雄 .

中国专利 :CN119912244B ,2025-10-03

[8]

一种氧化锌靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

王奇峰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118930247A ,2024-11-12

[9]

利用氧化铝锌靶材制备多层薄膜的方法 [P].

杨能辉 ;

林俊荣 .

中国专利 :CN103021822A ,2013-04-03

[10]

一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜 [P].

曹永革 ;

邓种华 ;

郭旺 ;

黄常刚 .

中国专利 :CN101985735A ,2011-03-16

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