一种氧化铝靶材及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202411887329.4
申请日
2024-12-20
公开(公告)号
CN119912244A
公开(公告)日
2025-05-02
发明(设计)人
周志宏 杨永添 刘青雄
申请人
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
510000 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
IPC主分类号
C04B35/115
IPC分类号
C23C14/34 B02C23/06 B02C17/10 C04B35/622 C04B35/626
代理机构
广州一锐专利代理有限公司 44369
代理人
杨昕昕
法律状态
公开
国省代码
广东省 广州市
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共 50 条
[1]
一种氧化铝靶材及其制备方法 [P]. 
周志宏 ;
杨永添 ;
刘青雄 .
中国专利 :CN119912244B ,2025-10-03
[2]
一种氧化铝靶材及其制备方法 [P]. 
刘文杰 ;
高日旭 ;
余芳 ;
邵学亮 ;
童培云 .
中国专利 :CN116253560B ,2024-06-07
[3]
一种氧化铝锌靶材及其制备方法 [P]. 
李开杰 ;
王奇峰 ;
陆洲 ;
吴鸿毅 ;
刘成龙 .
中国专利 :CN119162547A ,2024-12-20
[4]
一种氧化铝靶材的制备方法 [P]. 
刘文杰 ;
钟小华 ;
童培云 ;
朱刘 .
中国专利 :CN112390628B ,2021-02-23
[5]
一种氧化铝靶材及其制备方法与应用 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
周友平 ;
杨慧珍 ;
廖培君 .
中国专利 :CN115353373A ,2022-11-18
[6]
一种氧化铝靶材及其制备方法和应用 [P]. 
张凤戈 ;
施政 ;
张学华 ;
魏铁峰 ;
张欠男 ;
岳万祥 ;
孟晓亭 .
中国专利 :CN118754616A ,2024-10-11
[7]
一种氧化铝锌靶材及其制备方法、应用 [P]. 
顾德盛 ;
张兴宇 ;
罗斯诗 ;
李开杰 ;
王奇峰 .
中国专利 :CN118978387A ,2024-11-19
[8]
一种氧化铝陶瓷靶材及其制备方法与应用 [P]. 
姚力军 ;
王科 ;
王巨宝 ;
周敏 .
中国专利 :CN117447194A ,2024-01-26
[9]
一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法 [P]. 
罗斯诗 ;
李开杰 ;
邵学亮 ;
顾德盛 ;
张兴宇 .
中国专利 :CN116813314B ,2024-08-30
[10]
一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜 [P]. 
曹永革 ;
邓种华 ;
郭旺 ;
黄常刚 .
中国专利 :CN101985735A ,2011-03-16