基于受激光发射损耗的激光直写曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410029950.7

申请日：

2014-01-23

公开(公告)号：

CN103777473B

公开(公告)日：

2014-05-07

发明(设计)人：

朱菁黄惠杰杨宝喜宋强张方王健陈明李璟

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-08	授权	授权
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582692263 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014100299507 申请日:20140123
2015-03-04	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101711831951 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014100299507 变更事项:发明人变更前:朱菁;黄惠杰;杨宝喜;宋强;张方;王键;陈明;李璟变更后:朱菁;黄惠杰;杨宝喜;宋强;张方;王健;陈明;李璟
2019-10-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20190926 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海光学精密机械研究所变更后权利人:北京国望光学科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱变更后权利人:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街2号52幢6层601-10室
2014-05-07	公开	公开

共 50 条

[1]

激光直写双面曝光装置 [P].

茆晓华 .

中国专利 :CN206270652U ,2017-06-20

[2]

面曝光激光直写系统及方法 [P].

黄婷 ;

戴威 .

中国专利 :CN120295066A ,2025-07-11

[3]

激光直写垂直双面曝光装置 [P].

徐巍 ;

赵华 ;

张伟 ;

王翰文 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205539922U ,2016-08-31

[4]

激光直写倾斜双面曝光装置 [P].

徐巍 ;

赵华 ;

张伟 ;

王翰文 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205539921U ,2016-08-31

[5]

激光直写曝光系统 [P].

陈铁玉 ;

王章 ;

欧志朋 .

中国专利 :CN118567197A ,2024-08-30

[6]

激光直写曝光设备 [P].

肖燕青 ;

郑旭维 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN306570828S ,2021-05-28

[7]

激光直写曝光机 [P].

周来军 .

中国专利 :CN218068566U ,2022-12-16

[8]

激光直写曝光设备 [P].

徐彦文 ;

陈海巍 ;

王方江 .

中国专利 :CN307706724S ,2022-12-02

[9]

无光罩激光直写曝光机 [P].

洪国书 ;

刘俊贤 ;

张明宏 ;

廖述政 .

中国专利 :CN108255021A ,2018-07-06

[10]

一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机 [P].

肖燕青 ;

王方江 ;

陈海巍 ;

程珂 .

中国专利 :CN210954612U ,2020-07-07

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