汽化器、包括汽化器的原料气体供给系统和使用它的成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880104007.0

申请日：

2008-08-22

公开(公告)号：

CN101785089B

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

田中澄小松智仁二村宗久

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L2131

IPC分类号：

B23K2008 C23C16448

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;刘春成

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005822212 IPC(主分类):H01L 21/31 专利申请号:2008801040070 申请日:20080822
2012-06-13	授权	授权
2016-10-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101682282102 IPC(主分类):H01L 21/31 专利号:ZL2008801040070 申请日:20080822 授权公告日:20120613 终止日期:20150822
2010-07-21	公开	公开

共 50 条

[1]

汽化器和成膜装置 [P].

望月隆 .

中国专利 :CN101529564B ,2009-09-09

[2]

汽化器和包括汽化器的气溶胶生成装置 [P].

李源景 ;

金愍奎 ;

鲜于准 .

韩国专利 :CN119630297A ,2025-03-14

[3]

汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法 [P].

都田昌之 ;

楠原昌树 ;

梅田优 ;

深川满 .

中国专利 :CN100595910C ,2004-09-22

[4]

汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法 [P].

都田昌之 ;

楠原昌树 ;

梅田优 ;

深川满 .

中国专利 :CN1966762B ,2007-05-23

[5]

汽化器和包括该汽化器的气溶胶生成装置 [P].

尹圣煜 ;

金兑勋 ;

朴珠彦 ;

郑炯真 ;

韩政昊 .

韩国专利 :CN117858638A ,2024-04-09

[6]

汽化器和包括该汽化器的气溶胶生成装置 [P].

李源暻 ;

韩大男 .

韩国专利 :CN112601466B ,2024-03-22

[7]

汽化器与包括该汽化器的气溶胶生成装置 [P].

郑钟成 ;

张哲豪 ;

高京敏 ;

裴亨镇 ;

徐章源 ;

丁民硕 ;

郑镇哲 .

中国专利 :CN113573600A ,2021-10-29

[8]

汽化器和包括该汽化器的气溶胶生成装置 [P].

金兑勋 ;

林宪一 ;

郑炯真 ;

崔载成 ;

韩政昊 .

韩国专利 :CN112996402B ,2024-04-05

[9]

汽化器和包括该汽化器的气溶胶生成装置 [P].

李源暻 ;

韩大男 .

中国专利 :CN112601466A ,2021-04-02

[10]

汽化器总成及包括该汽化器总成的装置 [P].

赫尔穆特·布赫贝格尔 ;

科林·约翰·迪肯斯 .

中国专利 :CN111789298A ,2020-10-20

← 1 2 3 4 5 →