掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110231766.7

申请日：

2011-08-12

公开(公告)号：

CN102928321A

公开(公告)日：

2013-02-13

发明(设计)人：

卢丽荣李志丹张冲

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G01N1502

IPC分类号：

G02B702

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-13	公开	公开
2017-07-28	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756223646 IPC(主分类):G01N 15/02 专利号:ZL2011102317667 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2013-03-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101415517619 IPC(主分类):G01N 15/02 专利申请号:2011102317667 申请日:20110812
2014-12-17	授权	授权

共 50 条

[1]

激光扫描检测系统 [P].

张广明 .

中国专利 :CN309209764S ,2025-04-01

[2]

一种掩模颗粒度检测装置 [P].

孙鹤源 ;

王长刚 .

中国专利 :CN203838473U ,2014-09-17

[3]

一种颗粒度检测系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

靳雪仪 ;

徐静静 .

中国专利 :CN118961520B ,2025-04-11

[4]

一种颗粒度检测系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

靳雪仪 ;

徐静静 .

中国专利 :CN118961520A ,2024-11-15

[5]

一种激光扫描视觉检测系统 [P].

蔡震 ;

韦春雷 ;

李大明 .

中国专利 :CN108668064A ,2018-10-16

[6]

一种基于MEMS扫描镜的非共轴激光扫描成像系统 [P].

朱飞虎 ;

王立 ;

郭绍刚 ;

郑岩 ;

张运方 ;

华宝成 ;

王晓磊 ;

赵宇 ;

董超 ;

顾营迎 ;

祝浩 ;

张琳 .

中国专利 :CN113296105B ,2021-08-24

[7]

激光模块检测系统 [P].

张佳铮 ;

王聪 ;

赵双双 ;

赵玉柱 ;

林丹 .

中国专利 :CN119689224A ,2025-03-25

[8]

激光模块检测系统 [P].

张佳铮 ;

王聪 ;

赵双双 ;

赵玉柱 ;

林丹 .

中国专利 :CN119689224B ,2025-06-24

[9]

一种扫描调制式激光颗粒度测量装置 [P].

李华丰 ;

薛景锋 .

中国专利 :CN112326517A ,2021-02-05

[10]

适用于站台门的伸缩式激光扫描检测系统 [P].

何翔 ;

朱丹 ;

张浩 ;

张琨 ;

刘辉 ;

邱绍峰 ;

周明翔 ;

张俊岭 ;

李睿 ;

顾庆琪 .

中国专利 :CN209803353U ,2019-12-17

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