一种管式PECVD镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821708262.3

申请日：

2018-10-22

公开(公告)号：

CN209210921U

公开(公告)日：

2019-08-06

发明(设计)人：

朱金浩吴国强许布刘义德陈珏荣

申请人：

申请人地址：

314406 浙江省嘉兴市海宁市斜桥镇新建路8号

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265

代理人：

俞培锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PECVD镀膜装置 [P].

王镇 ;

颜大安 .

中国专利 :CN206927948U ,2018-01-26

[2]

一种PECVD镀膜装置 [P].

高斌 ;

施文成 ;

李友军 ;

李友萍 .

中国专利 :CN214830650U ,2021-11-23

[3]

一种管式PECVD镀膜方法 [P].

庞瑞卿 ;

王海超 ;

王昭 ;

赵辉 ;

黄登銮 .

中国专利 :CN102856176A ,2013-01-02

[4]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[5]

一种PECVD镀膜装置 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394623U ,2020-09-01

[6]

一种PECVD镀膜装置 [P].

周士杰 ;

陈圣铁 .

中国专利 :CN206447940U ,2017-08-29

[7]

一种管式PECVD结构 [P].

谢明会 ;

赵洪俊 ;

平国庆 ;

何为晋 .

中国专利 :CN207512258U ,2018-06-19

[8]

一种PECVD硅片镀膜装置 [P].

刘磊石 ;

张丹丹 .

中国专利 :CN222935511U ,2025-06-03

[9]

一种PECVD用镀膜装置 [P].

沈亚南 .

中国专利 :CN223548090U ,2025-11-14

[10]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN113355656A ,2021-09-07

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