一种管式PECVD镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210368157.0

申请日：

2012-09-27

公开(公告)号：

CN102856176A

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

庞瑞卿王海超王昭赵辉黄登銮

申请人：

申请人地址：

230001 安徽省合肥市新站区工业园东方大道与大禹路交叉口

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

H01L21673 H01L21318

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

柏尚春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395930349 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2012103681570 申请日:20120927
2015-10-28	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101722812707 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2012103681570 申请公布日:20130102
2013-01-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种PECVD镀膜方法 [P].

董方 ;

李虎明 ;

孙涌涛 ;

张向斌 ;

胡玉婷 .

中国专利 :CN104762610A ,2015-07-08

[2]

一种双面镀膜管式PECVD石墨舟结构 [P].

刘尧章 ;

秦怡 ;

苗晓亮 .

中国专利 :CN117660936A ,2024-03-08

[3]

一种改善管式PECVD系统镀膜均匀性的方法 [P].

黄纪德 .

中国专利 :CN103904158A ,2014-07-02

[4]

一种管式PECVD的三层膜工艺 [P].

曹江伟 ;

杨晓琴 ;

张广路 ;

陈园 ;

张明明 .

中国专利 :CN105506583A ,2016-04-20

[5]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

[6]

一种管式PECVD镀膜装置 [P].

朱金浩 ;

吴国强 ;

许布 ;

刘义德 ;

陈珏荣 .

中国专利 :CN209210921U ,2019-08-06

[7]

晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法 [P].

支凯飞 ;

杨辉 ;

李伟乐 ;

胡学一 ;

吴而义 .

中国专利 :CN108950514A ,2018-12-07

[8]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN113355656A ,2021-09-07

[9]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[10]

一种改善管式PECVD色差降级的镀膜方法 [P].

姚银根 .

中国专利 :CN109355642A ,2019-02-19

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