一种PECVD镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510023807.1

申请日：

2015-01-16

公开(公告)号：

CN104762610A

公开(公告)日：

2015-07-08

发明(设计)人：

董方李虎明孙涌涛张向斌胡玉婷

申请人：

申请人地址：

322118 浙江省金华市东阳市横店工业区

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C1634 H01L3118

代理机构：

杭州杭诚专利事务所有限公司 33109

代理人：

尉伟敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-08	公开	公开
2015-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101619267009 IPC(主分类):C23C 16/52 专利申请号:2015100238071 申请日:20150116
2018-08-03	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/52 申请公布日:20150708

共 50 条

[1]

一种多晶PECVD镀膜均匀性优化的方法 [P].

王菲 ;

聂文君 ;

张伟 ;

王路路 ;

贾慧君 ;

李文敏 .

中国专利 :CN112760614A ,2021-05-07

[2]

一种管式PECVD镀膜方法 [P].

庞瑞卿 ;

王海超 ;

王昭 ;

赵辉 ;

黄登銮 .

中国专利 :CN102856176A ,2013-01-02

[3]

一种提升双面PERC电池板式PECVD镀膜产能的方法 [P].

苏荣 ;

王岚 ;

张元秋 ;

谢耀辉 ;

王涛 .

中国专利 :CN109037358A ,2018-12-18

[4]

一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

关统州 .

中国专利 :CN108559976A ,2018-09-21

[5]

一种晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

王树林 ;

李鹏飞 ;

王英杰 .

中国专利 :CN117821933A ,2024-04-05

[6]

一种PECVD镀膜工艺 [P].

张小剑 .

中国专利 :CN111139448B ,2020-05-12

[7]

一种晶硅太阳能电池PECVD镀膜后不良片的返工方法 [P].

王大卫 ;

崔红星 ;

张文锋 ;

胡应全 ;

林海峰 .

中国专利 :CN104485388A ,2015-04-01

[8]

一种PECVD镀膜的气体控制方法以及设备 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN107338424B ,2017-11-10

[9]

一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

陈金灯 ;

李虎明 .

中国专利 :CN104498908A ,2015-04-08

[10]

一种太阳能电池PECVD沉积镀膜方法 [P].

王德昌 ;

李景 ;

孙晓凯 .

中国专利 :CN112397385B ,2021-02-23

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