一种多晶PECVD镀膜均匀性优化的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011450538.4

申请日：

2020-12-09

公开(公告)号：

CN112760614A

公开(公告)日：

2021-05-07

发明(设计)人：

王菲聂文君张伟王路路贾慧君李文敏

申请人：

申请人地址：

033000 山西省吕梁市文水县经济开发区1号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16505 C23C1602 H01L310216 H01L3118

代理机构：

北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465

代理人：

孙光远

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-07	公开	公开
2021-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20201209

共 50 条

[1]

一种PECVD镀膜方法 [P].

董方 ;

李虎明 ;

孙涌涛 ;

张向斌 ;

胡玉婷 .

中国专利 :CN104762610A ,2015-07-08

[2]

一种提升PECVD镀膜均匀性的装置 [P].

张云鹏 ;

王玉 ;

赵科巍 ;

杨飞飞 ;

梁玲 ;

李雪方 .

中国专利 :CN216473476U ,2022-05-10

[3]

用于改善PECVD镀膜均匀性的挡气板 [P].

静福印 ;

陈文浩 ;

刘仁中 ;

张斌 .

中国专利 :CN205241785U ,2016-05-18

[4]

一种改善管式PECVD系统镀膜均匀性的方法 [P].

黄纪德 .

中国专利 :CN103904158A ,2014-07-02

[5]

提升PECVD镀膜均匀性的装置 [P].

任现坤 ;

姜言森 ;

张春艳 ;

程亮 ;

贾河顺 ;

徐振华 .

中国专利 :CN203049035U ,2013-07-10

[6]

一种PECVD镀膜工艺 [P].

张小剑 .

中国专利 :CN111139448B ,2020-05-12

[7]

用于提升PECVD镀膜均匀性的装置 [P].

任现坤 ;

姜言森 ;

张春艳 ;

程亮 ;

贾河顺 ;

徐振华 .

中国专利 :CN203049033U ,2013-07-10

[8]

一种用于提升PECVD镀膜均匀性的装置 [P].

任现坤 ;

姜言森 ;

张春艳 ;

程亮 ;

贾河顺 ;

徐振华 .

中国专利 :CN102943251B ,2013-02-27

[9]

用于提升PECVD镀膜均匀性装置 [P].

沈亚南 .

中国专利 :CN221854766U ,2024-10-18

[10]

一种PECVD设备的异形管结构和PECVD设备 [P].

李广旭 ;

陈森 ;

刘德茂 ;

杨龙 ;

王晶 ;

张凯 .

中国专利 :CN222455216U ,2025-02-11

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