一种太阳能电池PECVD沉积镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011154532.2

申请日：

2020-10-26

公开(公告)号：

CN112397385B

公开(公告)日：

2021-02-23

发明(设计)人：

王德昌李景孙晓凯

申请人：

申请人地址：

055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街

IPC主分类号：

H01L21318

IPC分类号：

H01L3118 H01L310216 H01L31068

代理机构：

北京市万慧达律师事务所 11111

代理人：

顾友

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/318 申请日:20201026
2021-02-23	公开	公开
2023-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

太阳能电池镀膜方法及太阳能电池 [P].

上官泉元 ;

庄正军 ;

朱广东 ;

侯岳明 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN107221579A ,2017-09-29

[2]

薄膜太阳能电池多级PECVD沉积设备 [P].

李毅 ;

虞晓江 ;

胡盛明 .

中国专利 :CN102277562B ,2011-12-14

[3]

太阳能电池镀膜方法和太阳能电池 [P].

马博文 .

中国专利 :CN119153544A ,2024-12-17

[4]

一种太阳能电池PECVD镀膜装置 [P].

黄镇 .

中国专利 :CN212894965U ,2021-04-06

[5]

一种PECVD沉积太阳能电池掺杂层的气源和系统 [P].

闫路 ;

上官泉元 .

中国专利 :CN112481606A ,2021-03-12

[6]

PERC太阳能电池的镀膜方法 [P].

吴娟 ;

梁杭伟 ;

鲍亚平 ;

李家兰 .

中国专利 :CN111326604A ,2020-06-23

[7]

一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

关统州 .

中国专利 :CN108559976A ,2018-09-21

[8]

一种太阳能电池片镀膜的方法 [P].

谢余才 ;

陈刚刚 .

中国专利 :CN103022259A ,2013-04-03

[9]

太阳能电池镀膜设备 [P].

焦哲 .

中国专利 :CN211921691U ,2020-11-13

[10]

一种晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

王树林 ;

李鹏飞 ;

王英杰 .

中国专利 :CN117821933A ,2024-04-05

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