一种太阳能电池PECVD镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021524052.6

申请日：

2020-07-29

公开(公告)号：

CN212894965U

公开(公告)日：

2021-04-06

发明(设计)人：

黄镇

申请人：

申请人地址：

214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京华际知识产权代理有限公司 11676

代理人：

范登峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于太阳能电池PECVD镀膜的检测装置 [P].

康海晶 ;

陶智华 ;

郑飞 ;

张忠卫 ;

阮忠立 .

中国专利 :CN207367931U ,2018-05-15

[2]

一种晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺 [P].

王树林 ;

李鹏飞 ;

王英杰 .

中国专利 :CN117821933A ,2024-04-05

[3]

一种太阳能电池PECVD沉积镀膜方法 [P].

王德昌 ;

李景 ;

孙晓凯 .

中国专利 :CN112397385B ,2021-02-23

[4]

一种PECVD双模太阳能电池 [P].

许新湖 ;

柯雨馨 ;

卢发树 .

中国专利 :CN206511379U ,2017-09-22

[5]

太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置 [P].

李锋 .

中国专利 :CN201801591U ,2011-04-20

[6]

一种太阳能电池镀膜治具及太阳能电池 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN211947209U ,2020-11-17

[7]

太阳能电池镀膜设备 [P].

焦哲 .

中国专利 :CN211921691U ,2020-11-13

[8]

一种高效异质结太阳能电池的PECVD镀膜方法 [P].

庄辉虎 ;

黄辉明 ;

黄金文 .

中国专利 :CN113193072A ,2021-07-30

[9]

一种太阳能电池镀膜设备 [P].

余宗保 ;

李亮 ;

廖劲 ;

祁凯 .

中国专利 :CN218115587U ,2022-12-23

[10]

晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置 [P].

胡俊涛 ;

勾宪芳 ;

姜利凯 ;

王鹏 ;

曹华斌 ;

宋爱珍 .

中国专利 :CN202610326U ,2012-12-19

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