一种管式PECVD电极杆

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821570195.3

申请日：

2018-09-26

公开(公告)号：

CN208829762U

公开(公告)日：

2019-05-07

发明(设计)人：

陈林孙贤乔勇

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-19	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/513 变更事项:专利权人变更前:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更后:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更事项:地址变更前:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更后:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更事项:专利权人变更前:阿特斯阳光电力集团有限公司变更后:阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2019-05-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种管式PECVD的电极机构 [P].

王俊朝 ;

王飞龙 ;

李学文 ;

李军阳 .

中国专利 :CN207967023U ,2018-10-12

[2]

一种管式PECVD电极导电装置 [P].

蔡新兴 ;

朱露 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209722297U ,2019-12-03

[3]

管式PECVD设备 [P].

王树林 ;

牛富荣 ;

刘金宇 .

中国专利 :CN221480076U ,2024-08-06

[4]

一种石墨舟电极头以及PECVD设备 [P].

燕帅 ;

何军涛 ;

韦伟东 ;

何俊 ;

张楠楠 ;

朱新刚 ;

刘颜清 ;

李瑞波 .

中国专利 :CN221141869U ,2024-06-14

[5]

一种管式PECVD结构 [P].

谢明会 ;

赵洪俊 ;

平国庆 ;

何为晋 .

中国专利 :CN207512258U ,2018-06-19

[6]

一种管式PECVD设备电极对接装置 [P].

郭艳 ;

张春成 ;

李明 .

中国专利 :CN210237773U ,2020-04-03

[7]

一种管式PECVD的双炉门机构 [P].

王俊朝 ;

刘兵吉 ;

李学文 ;

李军阳 .

中国专利 :CN207793424U ,2018-08-31

[8]

一种管式PECVD镀膜方法 [P].

庞瑞卿 ;

王海超 ;

王昭 ;

赵辉 ;

黄登銮 .

中国专利 :CN102856176A ,2013-01-02

[9]

一种新型管式PECVD设备 [P].

赵洪俊 ;

宛正 .

中国专利 :CN216473474U ,2022-05-10

[10]

一种管式PECVD的电极机构 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211112212U ,2020-07-28

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