管式PECVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420060285.7

申请日：

2024-01-10

公开(公告)号：

CN221480076U

公开(公告)日：

2024-08-06

发明(设计)人：

王树林牛富荣刘金宇

申请人：

浙江晶盛光子科技有限公司

申请人地址：

311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室

IPC主分类号：

C23C16/505

IPC分类号：

C23C16/458

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

马笑雨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

管式PECVD设备 [P].

方结彬 ;

林纲正 ;

赖俊文 ;

何乃林 ;

殷文杰 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN206902232U ,2018-01-19

[2]

电场装置及管式PECVD设备 [P].

李军阳 ;

张勇 ;

李学文 .

中国专利 :CN215404513U ,2022-01-04

[3]

管式PECVD设备 [P].

张勇 ;

李学文 ;

李军阳 ;

龚文志 ;

谭晓华 ;

张海涛 ;

盛亚 .

中国专利 :CN215799888U ,2022-02-11

[4]

管式PECVD设备 [P].

丁田力 ;

付少剑 ;

郁寅珑 .

中国专利 :CN218146941U ,2022-12-27

[5]

一种新型管式PECVD设备 [P].

赵洪俊 ;

宛正 .

中国专利 :CN216473474U ,2022-05-10

[6]

一种管式PECVD电极杆 [P].

陈林 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN208829762U ,2019-05-07

[7]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[8]

一种太阳能电池管式PECVD设备 [P].

石强 ;

秦崇德 ;

方结彬 ;

黄玉平 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN205258602U ,2016-05-25

[9]

一种改善管式PECVD气体均匀性的装置 [P].

钟芷若 .

中国专利 :CN222990205U ,2025-06-17

[10]

管式PECVD设备的电极结构 [P].

李国庆 ;

邓金生 ;

王凯 ;

彭亚萍 .

中国专利 :CN214458316U ,2021-10-22

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