四倍光学细分的两轴外差光栅干涉仪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510581446.2

申请日：

2015-09-14

公开(公告)号：

CN105203031A

公开(公告)日：

2015-12-30

发明(设计)人：

卢炎聪周常河韦春龙余俊杰李树斌李燕阳李民康项长铖

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B 11/02 申请公布日:20151230
2016-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101643918694 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2015105814462 申请日:20150914
2015-12-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种四倍程的双频外差激光干涉仪 [P].

刘亚睿 ;

许素安 ;

钱飞 ;

张锋 .

中国专利 :CN205014944U ,2016-02-03

[2]

基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

吴亚风 ;

刘召 ;

徐登峰 ;

成荣 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759657A ,2014-04-30

[3]

自准直光栅干涉仪高光学细分结构 [P].

卢炎聪 ;

周常河 ;

韦春龙 ;

余俊杰 ;

李树斌 ;

王津 ;

李燕阳 ;

李民康 .

中国专利 :CN105136022A ,2015-12-09

[4]

四轴4细分干涉仪 [P].

程兆谷 ;

陈建芳 ;

程亚 ;

黄惠杰 ;

池峰 .

中国专利 :CN102353325A ,2012-02-15

[5]

自准直光栅干涉仪的高光学细分结构 [P].

卢炎聪 ;

周常河 ;

韦春龙 ;

余俊杰 ;

李树斌 ;

李民康 ;

李燕阳 ;

邱巨成 .

中国专利 :CN105180800B ,2015-12-23

[6]

基于双光栅结构的高光学细分双频光栅干涉仪 [P].

邓基立 ;

周常河 ;

韦春龙 ;

李民康 ;

尹正坤 ;

向显嵩 ;

卢炎聪 .

中国专利 :CN107462165A ,2017-12-12

[7]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

吴亚风 ;

刘召 ;

杨开明 ;

成荣 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759656B ,2014-04-30

[8]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

杨开明 ;

刘召 ;

成荣 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

秦慧超 .

中国专利 :CN103307986A ,2013-09-18

[9]

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103322927B ,2016-04-20

[10]

二自由度外差光栅干涉仪 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

叶伟楠 ;

左征荣 ;

张鸣 ;

成荣 ;

郭子文 .

中国专利 :CN113701645A ,2021-11-26

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