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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-04-05 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-10 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/8238 申请公布日:20170405 |
| 2017-05-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101716977403 IPC(主分类):H01L 21/8238 专利申请号:2015106317166 申请日:20150929 |