光罩缺陷检测方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010717492.1

申请日：

2020-07-23

公开(公告)号：

CN113970557B

公开(公告)日：

2022-01-25

发明(设计)人：

侯力华许文豪

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

G01N2194

IPC分类号：

G01N21958

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

史治法

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-25	公开	公开
2022-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/94 申请日:20200723
2023-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光罩缺陷检测方法及检测系统 [P].

朱哲 .

中国专利 :CN120927668A ,2025-11-11

[2]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

孟阳 ;

王伟斌 .

中国专利 :CN112444526A ,2021-03-05

[3]

缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

中野拓巳 .

中国专利 :CN103635169A ,2014-03-12

[4]

缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

杨东 ;

李阳 ;

李久航 ;

熊荣 ;

张海滨 ;

李红川 ;

王融慧 ;

潘彦霖 ;

杨歌 ;

何云 ;

马永生 .

中国专利 :CN119666984A ,2025-03-21

[5]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

王通 ;

许继仁 ;

林庆儒 .

中国专利 :CN111189845A ,2020-05-22

[6]

缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

赵天天 .

中国专利 :CN119626926A ,2025-03-14

[7]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

王星泽 ;

舒远 .

中国专利 :CN111344559A ,2020-06-26

[8]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

陈建辉 .

中国专利 :CN109725499B ,2019-05-07

[9]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

金绍彤 ;

许平康 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN110346394A ,2019-10-18

[10]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

孟阳 ;

王伟斌 .

中国专利 :CN112444526B ,2025-03-21

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