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光罩承载台
被引：0
申请号：
CN202222570816.0
申请日：
2022-09-28
公开(公告)号：
CN218446376U
公开(公告)日：
2023-02-03
发明(设计)人：
王振兴
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭四华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-03 | 授权 | 授权 |