气体供给方法和气体供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880009952.2

申请日：

2008-03-26

公开(公告)号：

CN101646803B

公开(公告)日：

2010-02-10

发明(设计)人：

原正道五味淳横山敦田中利昌前川伸次多贺敏

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

H01L21285

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101660484864 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2008800099522 申请日:20080326 授权公告日:20111130 终止日期:20150326
2011-11-30	授权	授权
2010-04-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101000900747 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2008800099522 申请日:20080326
2010-02-10	公开	公开

共 50 条

[1]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

成岛健索 ;

堀田隼史 ;

松本淳志 ;

川口拓哉 ;

木元大寿 .

中国专利 :CN114375347A ,2022-04-19

[2]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

大仓成幸 ;

布重裕 .

中国专利 :CN107686985B ,2018-02-13

[3]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

中国专利 :CN113056962A ,2021-06-29

[4]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

青木隆典 ;

三神克己 .

中国专利 :CN109477613A ,2019-03-15

[5]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

日本专利 :CN113056962B ,2024-03-08

[6]

气体供给装置、基板处理装置和气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN101017771A ,2007-08-15

[7]

气体供给装置、气体供给方法 [P].

高梨启一 ;

石桥昌幸 .

中国专利 :CN109423622A ,2019-03-05

[8]

原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P].

八木宏宪 ;

成嶋健索 ;

松山中成 .

中国专利 :CN107043927A ,2017-08-15

[9]

球阀和气体供给装置 [P].

姜宗明 .

中国专利 :CN201651395U ,2010-11-24

[10]

燃料电池系统及其气体供给方法和气体供给装置 [P].

朱益佳 ;

庄琳琳 ;

聂玉洁 .

中国专利 :CN112201812B ,2021-01-08

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