气体供给装置和气体供给方法

被引：0

申请号：

CN202080064090.4

申请日：

2020-09-16

公开(公告)号：

CN114375347A

公开(公告)日：

2022-04-19

发明(设计)人：

成岛健索堀田隼史松本淳志川口拓哉木元大寿

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1614

IPC分类号：

C23C16455 C23C1652 H01L2102

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	公开	公开
2022-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/14 申请日:20200916

共 50 条

[1]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

中国专利 :CN113056962A ,2021-06-29

[2]

气体供给方法和气体供给装置 [P].

原正道 ;

五味淳 ;

横山敦 ;

田中利昌 ;

前川伸次 ;

多贺敏 .

中国专利 :CN101646803B ,2010-02-10

[3]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

大仓成幸 ;

布重裕 .

中国专利 :CN107686985B ,2018-02-13

[4]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

日本专利 :CN113056962B ,2024-03-08

[5]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

青木隆典 ;

三神克己 .

中国专利 :CN109477613A ,2019-03-15

[6]

气体供给装置、基板处理装置和气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN101017771A ,2007-08-15

[7]

球阀和气体供给装置 [P].

姜宗明 .

中国专利 :CN201651395U ,2010-11-24

[8]

气体供给装置、气体供给方法 [P].

高梨启一 ;

石桥昌幸 .

中国专利 :CN109423622A ,2019-03-05

[9]

气体供给装置、气体供给方法和成膜方法 [P].

山口克昌 ;

成嶋健索 ;

八木宏宪 .

中国专利 :CN108531888A ,2018-09-14

[10]

气体供给装置 [P].

津田荣之辅 .

中国专利 :CN101772833B ,2010-07-07

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