气体供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980100056.1

申请日：

2009-02-20

公开(公告)号：

CN101772833B

公开(公告)日：

2010-07-07

发明(设计)人：

津田荣之辅

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21316

IPC分类号：

C23C16455 H01L2131

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李伟;舒艳君

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005582023 IPC(主分类):H01L 21/316 专利申请号:2009801000561 申请日:20090220
2010-07-07	公开	公开
2012-04-18	授权	授权

共 50 条

[1]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

成岛健索 ;

堀田隼史 ;

松本淳志 ;

川口拓哉 ;

木元大寿 .

中国专利 :CN114375347A ,2022-04-19

[2]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

中国专利 :CN113056962A ,2021-06-29

[3]

气体供给方法和气体供给装置 [P].

原正道 ;

五味淳 ;

横山敦 ;

田中利昌 ;

前川伸次 ;

多贺敏 .

中国专利 :CN101646803B ,2010-02-10

[4]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

大仓成幸 ;

布重裕 .

中国专利 :CN107686985B ,2018-02-13

[5]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

日本专利 :CN113056962B ,2024-03-08

[6]

气体供给装置和阀装置 [P].

大仓成幸 .

中国专利 :CN106661730A ,2017-05-10

[7]

气体供给装置、基板处理装置和气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN101017771A ,2007-08-15

[8]

气体供给装置、基板处理装置以及气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN100514552C ,2007-08-08

[9]

气体供给装置及基板处理装置 [P].

五味久 ;

齐藤哲也 ;

挂川崇 ;

间瀬贵久 ;

小泉真 ;

多田国弘 ;

若林哲 ;

成嶋健索 ;

方成 .

中国专利 :CN1958170A ,2007-05-09

[10]

气体供给装置、气体供给方法 [P].

高梨启一 ;

石桥昌幸 .

中国专利 :CN109423622A ,2019-03-05

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