气体供给装置及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610142776.2

申请日：

2006-10-31

公开(公告)号：

CN1958170A

公开(公告)日：

2007-05-09

发明(设计)人：

五味久齐藤哲也挂川崇间瀬贵久小泉真多田国弘若林哲成嶋健索方成

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

B05B114

IPC分类号：

C23C16448 C23C1400 C23F400 H01L2102

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-07-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-07-20	授权	授权
2007-05-09	公开	公开

共 50 条

[1]

气体供给装置、基板处理装置及供给气体设定方法 [P].

水泽兼悦 ;

伊藤惠贵 ;

伊藤昌秀 .

中国专利 :CN100390933C ,2006-06-14

[2]

气体供给装置、基板处理装置以及气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN100514552C ,2007-08-08

[3]

气体供给装置、基板处理装置和气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN101017771A ,2007-08-15

[4]

气体供给装置和基板处理装置 [P].

内田阳平 .

中国专利 :CN104205309B ,2014-12-10

[5]

气体供给装置以及基板处理装置 [P].

成嶋健索 ;

多田国弘 ;

若林哲 ;

斋藤哲也 .

中国专利 :CN101501244B ,2009-08-05

[6]

气体供给装置、基板处理装置和基板处理方法 [P].

益田法生 .

中国专利 :CN101425450B ,2009-05-06

[7]

基板处理装置、气体供给装置和基板处理方法 [P].

益田法生 .

中国专利 :CN100524612C ,2008-03-05

[8]

气体供给部及基板处理装置 [P].

藏田智之 ;

森田慎也 ;

平野敦士 ;

村田慧 ;

冈田裕巳 .

中国专利 :CN218299750U ,2023-01-13

[9]

盖部件、处理气体扩散供给装置及基板处理装置 [P].

石田寿文 .

中国专利 :CN101527258A ,2009-09-09

[10]

处理气体供给机构、供给方法及气体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN101159228B ,2008-04-09

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