气体供给装置、基板处理装置及供给气体设定方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510130387.3

申请日：

2005-12-09

公开(公告)号：

CN100390933C

公开(公告)日：

2006-06-14

发明(设计)人：

水泽兼悦伊藤惠贵伊藤昌秀

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L213065 H01L21311 H01L213213 C23F400

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-06-14	公开	公开
2006-08-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

气体供给装置、基板处理装置和气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN101017771A ,2007-08-15

[2]

气体供给装置、基板处理装置以及气体供给方法 [P].

水泽兼悦 .

中国专利 :CN100514552C ,2007-08-08

[3]

气体供给装置及基板处理装置 [P].

五味久 ;

齐藤哲也 ;

挂川崇 ;

间瀬贵久 ;

小泉真 ;

多田国弘 ;

若林哲 ;

成嶋健索 ;

方成 .

中国专利 :CN1958170A ,2007-05-09

[4]

气体供给方法、基板处理方法以及气体供给装置 [P].

池田阳介 ;

山口俊二 ;

石松卓也 ;

峰原亨明 ;

深井健太 ;

吉田拓矢 .

中国专利 :CN114730705A ,2022-07-08

[5]

气体供给装置、热处理装置、气体供给方法及热处理方法 [P].

古屋治彦 ;

岛裕巳 ;

立野雄亮 .

中国专利 :CN102776490A ,2012-11-14

[6]

气体供给装置、气体供给方法 [P].

高梨启一 ;

石桥昌幸 .

中国专利 :CN109423622A ,2019-03-05

[7]

处理气体供给机构、供给方法及气体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN101159228B ,2008-04-09

[8]

气体供给方法及气体供给装置 [P].

名仓见治 ;

高木一 .

中国专利 :CN103998851A ,2014-08-20

[9]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

中国专利 :CN113056962A ,2021-06-29

[10]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

大仓成幸 ;

布重裕 .

中国专利 :CN107686985B ,2018-02-13

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