一种对位曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910294646.8

申请日：

2019-04-12

公开(公告)号：

CN110196533B

公开(公告)日：

2019-09-03

发明(设计)人：

詹果薛成志张品祥巢宏斌黄吉林高云峰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 H05K306 H05K102

代理机构：

深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312

代理人：

赵胜宝

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190412
2021-01-29	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:申请人变更前:深圳市大族数控科技有限公司变更后:深圳市大族数控科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房变更后:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房
2021-07-16	授权	授权
2019-09-03	公开	公开
2020-07-10	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20200623 变更事项:申请人变更前权利人:大族激光科技产业集团股份有限公司变更后权利人:深圳市大族数控科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房变更事项:申请人变更前权利人:深圳市大族数控科技有限公司

共 50 条

[1]

一种合页对位曝光装置 [P].

刘军 ;

黄波 ;

董泽平 .

中国专利 :CN202189230U ,2012-04-11

[2]

一种自动对位曝光装置 [P].

石林江 ;

冯文良 ;

李鑫 .

中国专利 :CN222053483U ,2024-11-22

[3]

一种干膜曝光对位装置 [P].

丁兰燕 ;

钱如山 .

中国专利 :CN207571464U ,2018-07-03

[4]

一种感光干膜曝光对位装置 [P].

杨仁鸿 ;

杨忠平 ;

杨伟奕 .

中国专利 :CN213182317U ,2021-05-11

[5]

一种PCB曝光对位装置及对位方法 [P].

邱星茗 ;

肖光明 .

中国专利 :CN102540768A ,2012-07-04

[6]

曝光装置及其对位曝光方法 [P].

王建勋 ;

林庆鸿 ;

吴嘉训 .

中国专利 :CN109375478B ,2019-02-22

[7]

一种电路板曝光对位装置及电路板曝光对位方法 [P].

焦鑫 ;

韩垂华 .

中国专利 :CN101625529A ,2010-01-13

[8]

一种对位标记结构、曝光装置和曝光方法 [P].

王士敏 ;

李金军 ;

古海裕 ;

朱泽力 .

中国专利 :CN110908255A ,2020-03-24

[9]

曝光对位系统 [P].

李炬 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

李松凌 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN202837810U ,2013-03-27

[10]

曝光对位系统 [P].

李炬 ;

肖丽 ;

王金鹏 ;

李松凌 ;

王安建 ;

佘瑞峰 .

中国专利 :CN102759865B ,2012-10-31

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