一种对位曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910294646.8

申请日：

2019-04-12

公开(公告)号：

CN110196533B

公开(公告)日：

2019-09-03

发明(设计)人：

詹果薛成志张品祥巢宏斌黄吉林高云峰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 H05K306 H05K102

代理机构：

深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312

代理人：

赵胜宝

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190412
2021-01-29	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:申请人变更前:深圳市大族数控科技有限公司变更后:深圳市大族数控科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房变更后:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房
2021-07-16	授权	授权
2019-09-03	公开	公开
2020-07-10	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20200623 变更事项:申请人变更前权利人:大族激光科技产业集团股份有限公司变更后权利人:深圳市大族数控科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路安托山高科技工业园3#厂房五层、14#厂房一二层、17#厂房变更事项:申请人变更前权利人:深圳市大族数控科技有限公司

共 50 条

[41]

激光直写曝光机内层对位的装置 [P].

吴俊 ;

李文静 ;

李显杰 ;

刘文海 .

中国专利 :CN202837809U ,2013-03-27

[42]

PCB板半自动对位及曝光装置 [P].

张家豪 .

中国专利 :CN105629670A ,2016-06-01

[43]

双面曝光机的对位调整装置 [P].

张鸿明 .

中国专利 :CN201171248Y ,2008-12-24

[44]

一种异形工件的曝光装置及曝光方法 [P].

马迪 ;

吴景舟 ;

陈亮 ;

陈国军 ;

王群 ;

朱鹏飞 ;

孙行 ;

冯梦飞 ;

潘钰 .

中国专利 :CN110727177B ,2020-01-24

[45]

一种PCB电路板图形曝光用精准对位装置 [P].

陈静宇 ;

罗紫丹 .

中国专利 :CN212623567U ,2021-02-26

[46]

一种异形面曝光装置 [P].

吴景舟 ;

陈亮 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN210323767U ,2020-04-14

[47]

曝光方法和装置 [P].

佐佐木义晴 .

中国专利 :CN1821882A ,2006-08-23

[48]

直接图像曝光装置 [P].

中野幸夫 .

中国专利 :CN101419410B ,2009-04-29

[49]

一种半自动曝光机的线路对位方法 [P].

陈施清 ;

陈跃生 ;

赖春辉 .

中国专利 :CN103383532A ,2013-11-06

[50]

一种双面自动对位曝光的设备及方法 [P].

戴童庆 ;

代毓平 .

中国专利 :CN111258189B ,2024-06-07

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