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掩膜板支撑框架、掩膜板及其制作方法
被引：0
申请号：
CN202210609958.5
申请日：
2022-05-31
公开(公告)号：
CN114990478A
公开(公告)日：
2022-09-02
发明(设计)人：
周俊吉
李哲
赵阳
刘鑫
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市高新区康强一路1188号
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276
代理人：
赵雷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20220531 |