掩膜框架及制作方法、掩膜板组件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411411778.1
申请日
2024-10-10
公开(公告)号
CN119287312A
公开(公告)日
2025-01-10
发明(设计)人
钱超 甘帅燕
申请人
江苏高光半导体材料有限公司
申请人地址
212499 江苏省镇江市句容市经济开发区阳山路19号
IPC主分类号
C23C14/04
IPC分类号
C23C14/24 H10K71/16 H10K71/00 H10K59/10
代理机构
北京允天律师事务所 11697
代理人
李建航;李江宁
法律状态
公开
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[1]
掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P]. 
刘明星 ;
王徐亮 ;
高峰 ;
张玄 ;
甘帅燕 .
中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21
[2]
掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P]. 
周丽芳 ;
刘明星 ;
王徐亮 .
中国专利 :CN108642441A ,2018-10-12
[3]
掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法 [P]. 
沈阔 .
中国专利 :CN113215527B ,2021-08-06
[4]
掩膜板的制作方法、掩膜板及掩膜组件 [P]. 
张丁成 .
中国专利 :CN120330659A ,2025-07-18
[5]
掩膜板、掩膜板组件及掩膜板组件的制作方法 [P]. 
余强根 ;
甘帅燕 ;
钱超 .
中国专利 :CN120844011A ,2025-10-28
[6]
掩膜板及其制作方法、掩膜组件 [P]. 
林治明 ;
王震 .
中国专利 :CN106086785B ,2016-11-09
[7]
掩膜板制作方法及掩膜板 [P]. 
刘周英 .
中国专利 :CN109830511A ,2019-05-31
[8]
掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P]. 
张蔡星 ;
甘帅燕 ;
钱超 .
中国专利 :CN120519804A ,2025-08-22
[9]
掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P]. 
张蔡星 ;
甘帅燕 ;
钱超 .
中国专利 :CN120464965A ,2025-08-12
[10]
掩膜板支撑框架、掩膜板及其制作方法 [P]. 
周俊吉 ;
李哲 ;
赵阳 ;
刘鑫 .
中国专利 :CN114990478A ,2022-09-02