光刻设备的探测装置与探测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710173575.3

申请日：

2007-12-28

公开(公告)号：

CN101216678A

公开(公告)日：

2008-07-09

发明(设计)人：

李焕炀宋海军陈勇辉严天宏周畅

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2700 G02F1017

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-09	公开	公开
2010-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003367903 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2007101735753 公开日:20080709

共 50 条

[1]

光刻装置的传感器与探测方法 [P].

李焕炀 ;

陈勇辉 ;

宋海军 ;

周畅 .

中国专利 :CN101165596A ,2008-04-23

[2]

光刻设备的探测装置、探测方法及制造方法 [P].

李焕炀 ;

宋海军 ;

严天宏 .

中国专利 :CN101286011B ,2008-10-15

[3]

图像探测方法与图像探测装置 [P].

魏鸣圻 .

中国专利 :CN106973273A ,2017-07-21

[4]

激光探测装置与探测设备 [P].

李鑫坤 ;

张家超 .

中国专利 :CN223259875U ,2025-08-22

[5]

探测装置、包括该探测装置的成像系统及其探测方法 [P].

朱珂璋 ;

谢庆国 ;

代平平 ;

梅峻骅 ;

苏禹鸣 .

中国专利 :CN109254310A ,2019-01-22

[6]

由探测设备执行的故障探测方法、装置、探测设备和介质 [P].

张浩文 ;

刘方毅 ;

宫晨 ;

何知轶 .

中国专利 :CN111756577B ,2020-10-09

[7]

光探测装置及探测方法 [P].

朱雪洲 ;

杨晋 ;

曾昭明 ;

陶俊 ;

向少卿 ;

孙恺 .

中国专利 :CN115267801B ,2025-09-19

[8]

探测装置、探测方法及相关设备 [P].

郑子树 ;

刘兴伟 ;

罗育佳 .

中国专利 :CN120908885A ,2025-11-07

[9]

埋地管道的探测方法与探测设备 [P].

柳桥实 ;

浅野稔 .

中国专利 :CN1392406A ,2003-01-22

[10]

用于探测焦炉的探测装置及探测方法 [P].

杨国 ;

刘向辉 ;

陈嘉 ;

姚敏 ;

陈庆 ;

刘杰 ;

刘源鑫 ;

贺鹏鹏 ;

周嗣雄 ;

牟锐 ;

李洪军 ;

汤如燕 ;

陈强 ;

谢军 ;

贺传惠 ;

王强 .

中国专利 :CN117705195A ,2024-03-15

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