光刻设备的探测装置、探测方法及制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810038391.0

申请日：

2008-05-30

公开(公告)号：

CN101286011B

公开(公告)日：

2008-10-15

发明(设计)人：

李焕炀宋海军严天宏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-15	公开	公开
2010-06-02	授权	授权
2017-07-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754735932 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2008100383910 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2008-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

光刻设备的探测装置与探测方法 [P].

李焕炀 ;

宋海军 ;

陈勇辉 ;

严天宏 ;

周畅 .

中国专利 :CN101216678A ,2008-07-09

[2]

探测方法及探测设备 [P].

雷述宇 .

中国专利 :CN111123284A ,2020-05-08

[3]

光探测装置及探测方法 [P].

朱雪洲 ;

杨晋 ;

曾昭明 ;

陶俊 ;

向少卿 ;

孙恺 .

中国专利 :CN115267801B ,2025-09-19

[4]

太赫兹探测装置的制造方法及探测设备 [P].

赵自然 ;

姜寿禄 ;

马旭明 .

中国专利 :CN113782644B ,2021-12-10

[5]

探测装置、探测方法及相关设备 [P].

郑子树 ;

刘兴伟 ;

罗育佳 .

中国专利 :CN120908885A ,2025-11-07

[6]

移动探测方法及装置 [P].

张振华 ;

尚可 .

中国专利 :CN103308716B ,2013-09-18

[7]

能量束探测装置及探测方法 [P].

张科 ;

陈果 ;

柳鹏 ;

姜开利 ;

范守善 .

中国专利 :CN115480287A ,2022-12-16

[8]

探测装置及探测方法 [P].

雷述宇 .

中国专利 :CN111307185A ,2020-06-19

[9]

探测装置及探测方法 [P].

许哲涛 .

中国专利 :CN110361793A ,2019-10-22

[10]

用于探测焦炉的探测装置及探测方法 [P].

杨国 ;

刘向辉 ;

陈嘉 ;

姚敏 ;

陈庆 ;

刘杰 ;

刘源鑫 ;

贺鹏鹏 ;

周嗣雄 ;

牟锐 ;

李洪军 ;

汤如燕 ;

陈强 ;

谢军 ;

贺传惠 ;

王强 .

中国专利 :CN117705195A ,2024-03-15

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