多工位组合式晶棒加工设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201620107949.6
申请日
2016-02-02
公开(公告)号
CN205630235U
公开(公告)日
2016-10-12
发明(设计)人
卢建伟
申请人
申请人地址
201601 上海市松江区泗泾镇九干路1358号
IPC主分类号
B24B2700
IPC分类号
B24B4100 B24B4106 B28D504 B28D700
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
多工位组合式晶棒加工设备 [P]. 
卢建伟 .
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[3]
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