工件尺寸检测装置及多工位组合式晶棒加工设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620107899.1
申请日
2016-02-02
公开(公告)号
CN205380533U
公开(公告)日
2016-07-13
发明(设计)人
卢建伟
申请人
申请人地址
201601 上海市松江区泗泾镇九干路1358号
IPC主分类号
B24B906
IPC分类号
B24B4100 B24B2700 B24B4900 G01B2100
代理机构
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法律状态
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共 50 条
[1]
工件尺寸检测装置、方法及多工位组合式晶棒加工设备 [P]. 
卢建伟 .
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[2]
多工位组合式晶棒加工设备 [P]. 
卢建伟 .
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[3]
多工位组合式晶棒加工设备 [P]. 
卢建伟 .
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[4]
一种多工位组合式晶棒加工设备 [P]. 
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[5]
一种多工位组合式晶棒加工设备及其加工方法 [P]. 
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张钦亮 ;
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陆吴强 ;
何振卫 ;
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[6]
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多工位组合式模具 [P]. 
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[9]
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