硅片吸取组件及硅片抓取机构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810711679.3
申请日
2018-07-03
公开(公告)号
CN108922863A
公开(公告)日
2018-11-30
发明(设计)人
潘加永 戴秋喜
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区建林路666号出口加工区配套工业园35号标准厂房一楼
IPC主分类号
H01L21683
IPC分类号
H01L21687 H01L3118
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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