硅片输送装置及硅片转移系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421162013.4
申请日
2024-05-23
公开(公告)号
CN222514897U
公开(公告)日
2025-02-21
发明(设计)人
吴建晓 萧吉宏 刘超
申请人
安徽华晟新能源科技股份有限公司
申请人地址
242000 安徽省宣城市经济技术开发区清流路99号
IPC主分类号
H01L21/677
IPC分类号
H01L21/68 H01L21/683
代理机构
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人
王兴
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
旋转移栽机构及硅片输送系统 [P]. 
熊兼海 ;
王刚 ;
王永谦 ;
陈刚 .
中国专利 :CN221928015U ,2024-10-29
[2]
制绒槽内硅片输送装置 [P]. 
狄云飞 ;
孙铁囤 ;
姚伟忠 .
中国专利 :CN206819981U ,2017-12-29
[3]
硅片输送载具及硅片传送装置 [P]. 
苏金财 .
中国专利 :CN208507708U ,2019-02-15
[4]
硅片侧边检测装置及硅片分选机 [P]. 
李文 ;
李昶 ;
王美 ;
徐飞 .
中国专利 :CN210010204U ,2020-02-04
[5]
硅片输送装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN223378143U ,2025-09-23
[6]
制绒槽内硅片输送装置 [P]. 
狄云飞 ;
孙铁囤 ;
姚伟忠 .
中国专利 :CN107134428A ,2017-09-05
[7]
硅片输送装置及硅片输送方法 [P]. 
谢鑫 ;
刘大鹏 ;
贺佳兵 ;
陈灿荣 ;
卜湘军 .
中国专利 :CN117995735A ,2024-05-07
[8]
硅片辅助输送装置及硅片分选装置 [P]. 
李文 ;
李昶 ;
薛冬冬 ;
徐飞 ;
李泽通 ;
黄莉莉 ;
周凡 .
中国专利 :CN214516146U ,2021-10-29
[9]
伸缩输送装置及硅片输送系统 [P]. 
徐春雷 ;
王刚 ;
王永谦 ;
陈刚 .
中国专利 :CN222190674U ,2024-12-17
[10]
硅片输送装置及硅片输送方法 [P]. 
谢鑫 ;
刘大鹏 ;
贺佳兵 ;
陈灿荣 ;
卜湘军 .
中国专利 :CN117995735B ,2025-10-28