硅片输送装置及硅片输送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410089202.1

申请日：

2024-01-22

公开(公告)号：

CN117995735B

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

谢鑫刘大鹏贺佳兵陈灿荣卜湘军

申请人：

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H10F71/00

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

张英凤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240122
2024-05-07	公开	公开
2025-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片输送装置及硅片输送方法 [P].

谢鑫 ;

刘大鹏 ;

贺佳兵 ;

陈灿荣 ;

卜湘军 .

中国专利 :CN117995735A ,2024-05-07

[2]

硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

徐飞 ;

李昶 .

中国专利 :CN217478208U ,2022-09-23

[3]

硅片输送装置及硅片转移系统 [P].

吴建晓 ;

萧吉宏 ;

刘超 .

中国专利 :CN222514897U ,2025-02-21

[4]

硅片输送装置 [P].

贾立龙 ;

晏恒峰 ;

张元新 ;

姜波 .

中国专利 :CN220341247U ,2024-01-12

[5]

硅片输送装置 [P].

李文 ;

黄莉莉 ;

李昶 ;

徐飞 .

中国专利 :CN215046937U ,2021-12-07

[6]

硅片输送装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223378143U ,2025-09-23

[7]

硅片输送装置 [P].

李文 ;

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

黄莉莉 .

中国专利 :CN212830916U ,2021-03-30

[8]

硅片输送装置 [P].

张伟珍 ;

孟飞 ;

殷志江 .

中国专利 :CN222483321U ,2025-02-14

[9]

硅片输送装置 [P].

周宏业 ;

刘晔锟 ;

赵昌胜 ;

曾程 .

中国专利 :CN222507576U ,2025-02-18

[10]

硅片输送装置 [P].

陈东开 .

中国专利 :CN204792734U ,2015-11-18

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