硅片输送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420853122.4

申请日：

2024-04-24

公开(公告)号：

CN222483321U

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

张伟珍孟飞殷志江

申请人：

无锡市南亚科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市滨湖区立业路2号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366

代理人：

计静静

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片输送装置 [P].

贾立龙 ;

晏恒峰 ;

张元新 ;

姜波 .

中国专利 :CN220341247U ,2024-01-12

[2]

硅片输送装置 [P].

李文 ;

黄莉莉 ;

李昶 ;

徐飞 .

中国专利 :CN215046937U ,2021-12-07

[3]

硅片输送装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223378143U ,2025-09-23

[4]

硅片输送装置 [P].

李文 ;

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

黄莉莉 .

中国专利 :CN212830916U ,2021-03-30

[5]

硅片输送装置 [P].

周宏业 ;

刘晔锟 ;

赵昌胜 ;

曾程 .

中国专利 :CN222507576U ,2025-02-18

[6]

硅片输送装置 [P].

陈东开 .

中国专利 :CN204792734U ,2015-11-18

[7]

硅片旋转输送装置 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

刘三利 .

中国专利 :CN214588778U ,2021-11-02

[8]

硅片辅助输送装置及硅片分选装置 [P].

李文 ;

李昶 ;

薛冬冬 ;

徐飞 ;

李泽通 ;

黄莉莉 ;

周凡 .

中国专利 :CN214516146U ,2021-10-29

[9]

硅片输送装置及硅片转移系统 [P].

吴建晓 ;

萧吉宏 ;

刘超 .

中国专利 :CN222514897U ,2025-02-21

[10]

硅片输送装置及硅片输送方法 [P].

谢鑫 ;

刘大鹏 ;

贺佳兵 ;

陈灿荣 ;

卜湘军 .

中国专利 :CN117995735A ,2024-05-07

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