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硅片输送装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202520008166.1
申请日：
2025-01-03
公开(公告)号：
CN223378143U
公开(公告)日：
2025-09-23
发明(设计)人：
请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名
申请人：
无锡博而远智能装备有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区锡协路102号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/687 H01L21/68 H10F71/00 F16F15/02
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
河北省 保定市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-23 授权 授权
共 50 条
[1]
硅片输送装置 [P]. 
贾立龙 ;
晏恒峰 ;
张元新 ;
姜波 .
中国专利 :CN220341247U ,2024-01-12
[2]
硅片输送装置及硅片转移系统 [P]. 
吴建晓 ;
萧吉宏 ;
刘超 .
中国专利 :CN222514897U ,2025-02-21
[3]
硅片输送装置 [P]. 
李文 ;
黄莉莉 ;
李昶 ;
徐飞 .
中国专利 :CN215046937U ,2021-12-07
[4]
硅片输送装置 [P]. 
李文 ;
李泽通 ;
李昶 ;
徐飞 ;
黄莉莉 .
中国专利 :CN212830916U ,2021-03-30
[5]
硅片输送装置 [P]. 
张伟珍 ;
孟飞 ;
殷志江 .
中国专利 :CN222483321U ,2025-02-14
[6]
硅片输送装置 [P]. 
周宏业 ;
刘晔锟 ;
赵昌胜 ;
曾程 .
中国专利 :CN222507576U ,2025-02-18
[7]
硅片输送装置 [P]. 
陈东开 .
中国专利 :CN204792734U ,2015-11-18
[8]
硅片旋转输送装置 [P]. 
吴廷斌 ;
张学强 ;
张建伟 ;
罗银兵 ;
刘三利 .
中国专利 :CN214588778U ,2021-11-02
[9]
硅片辅助输送装置及硅片分选装置 [P]. 
李文 ;
李昶 ;
薛冬冬 ;
徐飞 ;
李泽通 ;
黄莉莉 ;
周凡 .
中国专利 :CN214516146U ,2021-10-29
[10]
具有缓存通道的硅片输送装置 [P]. 
汤帅 ;
黄文杰 ;
邱其伟 .
中国专利 :CN209232751U ,2019-08-09
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