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具有缓存通道的硅片输送装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821986922.4
申请日：
2018-11-29
公开(公告)号：
CN209232751U
公开(公告)日：
2019-08-09
发明(设计)人：
汤帅
黄文杰
邱其伟
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人：
王闯;葛莉华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-09 | 授权 | 授权 |
| 2022-03-18 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人 变更前:无锡市江松科技有限公司 变更后:无锡江松科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:214028 江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块 变更后:214000 江苏省无锡市新吴区硕放长江东路208号 |