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一种可调慢提拉清洗系统
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202022901183.8
申请日
:
2020-12-07
公开(公告)号
:
CN213716849U
公开(公告)日
:
2021-07-16
发明(设计)人
:
王大伟
武治军
危晨
赵越
李建弘
范俊杰
申请人
:
申请人地址
:
300450 天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号
IPC主分类号
:
H01L2167
IPC分类号
:
H01L21673
代理机构
:
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人
:
栾志超
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-07-16
授权
授权
共 50 条
[1]
一种可调慢提拉清洗系统及干燥方法
[P].
王大伟
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王大伟
;
武治军
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武治军
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危晨
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危晨
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赵越
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赵越
;
李建弘
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李建弘
;
范俊杰
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范俊杰
.
中国专利
:CN114597140A
,2022-06-07
[2]
一种慢提拉清洗水槽
[P].
钱鑫
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钱鑫
;
王艺澄
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王艺澄
;
刘传君
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刘传君
.
中国专利
:CN215299182U
,2021-12-24
[3]
硅片慢提拉清洗槽
[P].
虞凯
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虞凯
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孙铁囤
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孙铁囤
;
姚伟忠
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姚伟忠
.
中国专利
:CN206820012U
,2017-12-29
[4]
慢提拉清洗设备
[P].
付金海
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上海普达特半导体设备有限公司
上海普达特半导体设备有限公司
付金海
;
高志峰
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机构:
上海普达特半导体设备有限公司
上海普达特半导体设备有限公司
高志峰
;
黄允文
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上海普达特半导体设备有限公司
上海普达特半导体设备有限公司
黄允文
;
刘二壮
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上海普达特半导体设备有限公司
上海普达特半导体设备有限公司
刘二壮
.
中国专利
:CN220367888U
,2024-01-19
[5]
慢提拉装置及慢提拉系统
[P].
邵玉林
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无锡琨圣智能装备股份有限公司
无锡琨圣智能装备股份有限公司
邵玉林
;
翟连方
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无锡琨圣智能装备股份有限公司
无锡琨圣智能装备股份有限公司
翟连方
;
张三洋
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无锡琨圣智能装备股份有限公司
无锡琨圣智能装备股份有限公司
张三洋
;
任壮
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无锡琨圣智能装备股份有限公司
无锡琨圣智能装备股份有限公司
任壮
.
中国专利
:CN221796975U
,2024-10-01
[6]
一种慢提拉抛动机构
[P].
靳立辉
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靳立辉
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杨骅
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杨骅
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姚长娟
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姚长娟
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高兵
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高兵
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任志高
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任志高
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杨杰
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杨杰
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王欢
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王欢
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陈畅
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陈畅
.
中国专利
:CN216174798U
,2022-04-05
[7]
慢提拉机构
[P].
陈宏
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陈宏
.
中国专利
:CN201755568U
,2011-03-09
[8]
一种角度可调清洗机慢提拉槽托架
[P].
郑志
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郑志
;
林晓明
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林晓明
;
金志平
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金志平
.
中国专利
:CN216965573U
,2022-07-15
[9]
一种限位装置及设有该限位装置的满提拉清洗系统
[P].
王大伟
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王大伟
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武治军
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武治军
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危晨
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危晨
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赵越
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赵越
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李建弘
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李建弘
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范俊杰
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范俊杰
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中国专利
:CN213958914U
,2021-08-13
[10]
一种冷水慢提拉清洗硅片工艺
[P].
黄志焕
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黄志焕
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徐长坡
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徐长坡
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陈澄
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陈澄
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李亚哲
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李亚哲
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王晓捧
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王晓捧
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陈凯
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陈凯
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梁效峰
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梁效峰
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杨玉聪
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杨玉聪
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魏文博
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魏文博
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中国专利
:CN111354623A
,2020-06-30
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