一种可调慢提拉清洗系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022901183.8
申请日
2020-12-07
公开(公告)号
CN213716849U
公开(公告)日
2021-07-16
发明(设计)人
王大伟 武治军 危晨 赵越 李建弘 范俊杰
申请人
申请人地址
300450 天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L21673
代理机构
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人
栾志超
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种可调慢提拉清洗系统及干燥方法 [P]. 
王大伟 ;
武治军 ;
危晨 ;
赵越 ;
李建弘 ;
范俊杰 .
中国专利 :CN114597140A ,2022-06-07
[2]
一种慢提拉清洗水槽 [P]. 
钱鑫 ;
王艺澄 ;
刘传君 .
中国专利 :CN215299182U ,2021-12-24
[3]
硅片慢提拉清洗槽 [P]. 
虞凯 ;
孙铁囤 ;
姚伟忠 .
中国专利 :CN206820012U ,2017-12-29
[4]
慢提拉清洗设备 [P]. 
付金海 ;
高志峰 ;
黄允文 ;
刘二壮 .
中国专利 :CN220367888U ,2024-01-19
[5]
慢提拉装置及慢提拉系统 [P]. 
邵玉林 ;
翟连方 ;
张三洋 ;
任壮 .
中国专利 :CN221796975U ,2024-10-01
[6]
一种慢提拉抛动机构 [P]. 
靳立辉 ;
杨骅 ;
姚长娟 ;
高兵 ;
任志高 ;
杨杰 ;
王欢 ;
陈畅 .
中国专利 :CN216174798U ,2022-04-05
[7]
慢提拉机构 [P]. 
陈宏 .
中国专利 :CN201755568U ,2011-03-09
[8]
一种角度可调清洗机慢提拉槽托架 [P]. 
郑志 ;
林晓明 ;
金志平 .
中国专利 :CN216965573U ,2022-07-15
[9]
一种限位装置及设有该限位装置的满提拉清洗系统 [P]. 
王大伟 ;
武治军 ;
危晨 ;
赵越 ;
李建弘 ;
范俊杰 .
中国专利 :CN213958914U ,2021-08-13
[10]
一种冷水慢提拉清洗硅片工艺 [P]. 
黄志焕 ;
徐长坡 ;
陈澄 ;
李亚哲 ;
王晓捧 ;
陈凯 ;
梁效峰 ;
杨玉聪 ;
魏文博 .
中国专利 :CN111354623A ,2020-06-30