一种可调慢提拉清洗系统及干燥方法

被引：0

申请号：

CN202011415705.1

申请日：

2020-12-07

公开(公告)号：

CN114597140A

公开(公告)日：

2022-06-07

发明(设计)人：

王大伟武治军危晨赵越李建弘范俊杰

申请人：

申请人地址：

300450 天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21673

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-07	公开	公开
2022-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201207

共 50 条

[1]

一种可调慢提拉清洗系统 [P].

王大伟 ;

武治军 ;

危晨 ;

赵越 ;

李建弘 ;

范俊杰 .

中国专利 :CN213716849U ,2021-07-16

[2]

一种慢提拉清洗水槽 [P].

钱鑫 ;

王艺澄 ;

刘传君 .

中国专利 :CN215299182U ,2021-12-24

[3]

硅片慢提拉清洗槽 [P].

虞凯 ;

孙铁囤 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206820012U ,2017-12-29

[4]

一种冷水慢提拉清洗硅片工艺 [P].

黄志焕 ;

徐长坡 ;

陈澄 ;

李亚哲 ;

王晓捧 ;

陈凯 ;

梁效峰 ;

杨玉聪 ;

魏文博 .

中国专利 :CN111354623A ,2020-06-30

[5]

一种限位装置及设有该限位装置的满提拉清洗系统 [P].

王大伟 ;

武治军 ;

危晨 ;

赵越 ;

李建弘 ;

范俊杰 .

中国专利 :CN213958914U ,2021-08-13

[6]

一种慢提拉抛动机构 [P].

靳立辉 ;

杨骅 ;

姚长娟 ;

高兵 ;

任志高 ;

杨杰 ;

王欢 ;

陈畅 .

中国专利 :CN216174798U ,2022-04-05

[7]

一种片篮承载装置及设有该承载装置的满提拉清洗系统 [P].

王大伟 ;

武治军 ;

危晨 ;

赵越 ;

李建弘 ;

范俊杰 .

中国专利 :CN213716848U ,2021-07-16

[8]

一种提拉装置及硅片清洗系统 [P].

孙前高 .

中国专利 :CN215988665U ,2022-03-08

[9]

用于提拉花篮的慢提装置及硅片处理设备 [P].

左国军 ;

柯国英 ;

付正超 .

中国专利 :CN215118858U ,2021-12-10

[10]

一种硅片清洗用慢排拉干燥与顶片分离机构 [P].

卡尔·罗伯特·休斯特 ;

严贺强 .

中国专利 :CN217214686U ,2022-08-16

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