一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011239030.X

申请日：

2020-11-09

公开(公告)号：

CN112490839B

公开(公告)日：

2021-03-12

发明(设计)人：

韩晓泉孙泽旭冯泽斌刘广义王倩周翊沙鹏飞

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01S3097

IPC分类号：

H01S313 H01S3134

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

房德权

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/097 申请日:20201109
2021-03-12	公开	公开
2022-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444A ,2022-08-05

[2]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444B ,2025-10-24

[3]

一种准分子激光器电极结构及准分子激光器 [P].

沙鹏飞 ;

杨军红 ;

熊光亮 ;

祝桂鹏 ;

陈刚 ;

李祖友 ;

贺跃坡 ;

刘海东 ;

李一鸣 ;

刘斌 ;

冯泽斌 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN209169622U ,2019-07-26

[4]

一种准分子激光器电极结构及准分子激光器 [P].

沙鹏飞 ;

杨军红 ;

熊光亮 ;

祝桂鹏 ;

陈刚 ;

李祖友 ;

贺跃坡 ;

刘海东 ;

李一鸣 ;

刘斌 ;

冯泽斌 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN109411996A ,2019-03-01

[5]

高稳定性准分子激光器装置 [P].

刘广义 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

赵江山 ;

苏国强 ;

刘斌 ;

冯泽斌 .

中国专利 :CN113659417A ,2021-11-16

[6]

双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

江锐 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 .

中国专利 :CN117895314A ,2024-04-16

[7]

准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具 [P].

朱声建 .

中国专利 :CN207910228U ,2018-09-25

[8]

准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器 [P].

赵江山 ;

郭馨 ;

王倩 ;

刘广义 ;

刘斌 ;

沙鹏飞 ;

詹绍通 ;

刘明雷 ;

胡馨月 ;

江锐 .

中国专利 :CN113872025A ,2021-12-31

[9]

光刻用准分子激光器剂量稳定控制方法 [P].

王效顺 ;

方晓东 ;

梁勖 ;

鲍健 .

中国专利 :CN103094830A ,2013-05-08

[10]

窄线宽准分子激光器 [P].

袁志军 ;

张海波 ;

周军 ;

楼祺洪 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN203135202U ,2013-08-14

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