准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210511297.2

申请日：

2022-05-11

公开(公告)号：

CN114865444B

公开(公告)日：

2025-10-24

发明(设计)人：

王吉亮冯泽斌江锐徐向宇梁赛陈佩佩

申请人：

北京科益虹源光电技术有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层

IPC主分类号：

H01S3/13

IPC分类号：

H01S3/134

代理机构：

北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381

代理人：

陈曦;董烨飞

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-24	授权	授权

共 50 条

[1]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444A ,2022-08-05

[2]

双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

江锐 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 .

中国专利 :CN117895314A ,2024-04-16

[3]

准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器 [P].

赵江山 ;

郭馨 ;

王倩 ;

刘广义 ;

刘斌 ;

沙鹏飞 ;

詹绍通 ;

刘明雷 ;

胡馨月 ;

江锐 .

中国专利 :CN113872025A ,2021-12-31

[4]

一种准分子激光器电极结构及准分子激光器 [P].

沙鹏飞 ;

杨军红 ;

熊光亮 ;

祝桂鹏 ;

陈刚 ;

李祖友 ;

贺跃坡 ;

刘海东 ;

李一鸣 ;

刘斌 ;

冯泽斌 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN209169622U ,2019-07-26

[5]

一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器 [P].

韩晓泉 ;

孙泽旭 ;

冯泽斌 ;

刘广义 ;

王倩 ;

周翊 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN112490839B ,2021-03-12

[6]

一种准分子激光器电极结构及准分子激光器 [P].

沙鹏飞 ;

杨军红 ;

熊光亮 ;

祝桂鹏 ;

陈刚 ;

李祖友 ;

贺跃坡 ;

刘海东 ;

李一鸣 ;

刘斌 ;

冯泽斌 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN109411996A ,2019-03-01

[7]

准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具 [P].

朱声建 .

中国专利 :CN207910228U ,2018-09-25

[8]

窄线宽准分子激光器 [P].

袁志军 ;

张海波 ;

周军 ;

楼祺洪 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN203135202U ,2013-08-14

[9]

准分子激光器复合腔 [P].

周翊 ;

单耀莹 ;

范元媛 ;

宋兴亮 ;

张立佳 ;

崔惠绒 ;

王宇 .

中国专利 :CN102969649A ,2013-03-13

[10]

窄线宽准分子激光器 [P].

袁志军 ;

张海波 ;

周军 ;

楼祺洪 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN102983485A ,2013-03-20

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